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真空技术/Vacuum technology

真空技术/Vacuum technology

  • 所属分类:应用案例
  • 浏览次数:
  • 发布日期:2020-04-25 00:00:00
  • 案例描述
  • 性能特点
  • 技术参数

CRT-TRC内外置孪生旋转阴极

产品规格:

1.旋转阴极端头尺寸:W130*L115*H150mm;

2.阴极衬管直径:内Ф80*外Ф90mm;

3.耐压真空度:优于2*10-4Pa;

4.靶材允厚:5-20mm(含导热连接层);

5.施电功率密度:小于20KW/米;

6.磁场均匀性:小于5%(沉积区内);

7.冷却系统:Φ10mm进出水管,水温小于18℃;

8.进气方式:科瑞达真空优化进气设计;

9.安装方式:垂直安装、水平安装和任意角度安装。


技术特点:

1、产能高,适合复杂的零件;

2、在原子层厚度上控制膜层厚度和膜层均匀性;

3、高光学透过率;

4、溅射膜层应力低;

5、高环境稳定性;

6、高工艺可重复性;

7、应用灵活。


CRT-TRC Iner & Outer Twin Rotating Cathode

Specification:

1. TRC Tip Size: W130*L115*H150mm

2. Liner tube : Ф90mm

3. Ultimate pressure: less than 2*10-4Pa

4. Thickness of Target: 5-20mm 

5. Power Density: <20KW/m

6. Uniformity of Magnetic filed Density: <5%

7. Cooling Water: Φ10mm tube,T.<18℃

8. Inlet of Gas: Optimized by CRT Vacuum

9. Installation: Vertical, Horizontal  any Angle


Technical Features:

1. High Production yield for very complex parts. 

2. Atomic level control of film thickness  uniformity. 

3. High optical teansmission. 

4. Low stress coatings. 

5. High environmental stability.

6. High process repeatability.

7. Application flexibility.

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