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薄膜沉积技术
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操作降低真空镀膜机薄膜表面应力

2021-06-02 11:38:08

薄膜层通过真空镀膜机沉积后,武汉科瑞达发现薄膜表面会产生一种称为表面应力的力。这种力存在于很多物质上,所以薄膜也不例外,但由于薄膜的厚度很薄,所以能承受的表面应力小。实际上,薄膜的表面应力就是薄膜在拉伸或弯曲时改变薄膜表面面积所产生的能量,而这个能量超过了薄膜所能承受的范围,就会导致薄膜开裂。另外,我认为不容易变形的工件上的薄膜不容易拉伸和弯曲,但并不意味着没有。表面镀有一层薄膜,可以承受。因此,降低薄膜的表面应力是防止薄膜开裂的有效方法之一。


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一般来说,可以从三个方面进行调整:

一,降低蒸发速度。对于那些用真空蒸发镀膜机镀的薄膜,可以适当降低蒸发速度,使目标材料成膜速度不如可以提高成膜质量。好产品出品虽然慢,但不能减少,因为在追求品质的同时,也要注意产量。

二是延长脱气时间,因为工件中有一些气体或水分,脱气的目的是在镀膜前将这些气体排出,以免降低真空镀膜机内的真空度,真空度不够高,会影响影片的质量。

三是降低烘烤温度。烘烤温度虽然高,可以加速脱气,但高温也会影响工件本身的性能,改变工件本身的性质,使表面受力更加难控制住。

通过以上三种不同的方法,可以有效降低膜层的表面应力,大大降低膜层开裂的风险。真空镀膜设备所在实验室或车间应保持清洁卫生。地面为水磨石或木质涂漆地面、无尘埃。为防止机械泵工作时排出的气体对实验室环境的污染,可采用在泵的排气口上面装设排气管道(金属、橡胶管)的办法,将气体排出室外。

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