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真空镀膜设备的真空度及污染源

2021-07-02 16:25:20

大多数真空镀膜工艺都是精密工艺,武汉科瑞达真空科技有限公司设备对真空度要求很高。真空镀膜行业由于其镀膜工艺需要抽真空,因此与真空系统相连。因此,真空泵广泛应用于真空镀膜行业,真空泵过滤器在真空镀膜过程中也有很大的需求,真空度一般要求在10的负三次方左右,真空度是真空镀膜过程中必须严格管理的指标值之一。它与涂层产品的颜色、耐磨性和牢固性有着非常重要的关系。真空度是相对稳定的,但也会受到一些因素的影响,如大气压,但真空泵过滤器的安装不会影响真空度。


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关键是对涂装过程的危害。无论采用哪种涂覆方法,真空度越高,炉内杂质分子含量越少。这样,涂料的成分就会趋于你想要的比例。总之,纯度和结晶条件将更加准确。另外,对于涂层,还有加热的基本步骤。较高的真空度可避免板材表面的空气氧化或渗氮,大大有助于板材的附着力。真空镀膜工艺对真空泵和真空泵过滤机提出了更高的要求,促进了真空泵过滤机的发展和进步,在使用真空设备的过程中,其零部件也会受到污染。然而,这种污染源主要是由使用条件和真空泵造成的,主要有以下污染源:

1.真空调节灯丝在高温下蒸发,会在陶瓷绝缘子上形成薄膜,破坏其绝缘强度,影响其测量精度;

2.由于高温蒸发,在真空中,电子枪灯丝附近的表面会形成一层金属膜;

3.由于工件溅射,离子束刻蚀设备的内壁会受到飞溅物的污染;

4.真空蒸发镀膜设备的内壁会受到靶材的污染;

5.真空干燥系统经常受到影响真空镀膜设备中的扩散泵油和机械泵油是主要的污染源。涂装机长期工作后,设备内部会形成一层油膜

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