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真空蒸发镀膜工艺你知道吗

2021-12-14 09:23:52

真空蒸发镀膜是一种利用蒸发器加热蒸发的物质使其蒸发的技术,蒸发的粒子流直接导向基板并沉积在基板上,形成固体薄膜,包括热蒸发和EB蒸发(电子束蒸发)。真空蒸镀的主要工艺有哪些?现在和武汉科瑞达真空科技有限公司看看具体要求:


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1)利用各种能量方式转化为热能,加热薄膜材料蒸发或升华,成为具有一定能量的气态粒子(原子、分子和原子团);

2)离开膜材料表面,运动速度相当快的气态粒子以直线飞行方式输送到基体表面,基本无碰撞;

3)到达基材表面的气态粒子凝聚形成核,然后长成固体薄膜;

4)构成薄膜的原子发生重组或化学键合。

为了从蒸发热力学的液相或固相中的原子或分子脱离涂料表面,必须获得足够的热能,并且必须有足够的热运动。当垂直表面的速度分量的动能足以克服原子或分子之间相互吸引的能量时,就有可能逃离表面并完全蒸发或升华。加热温度越高,分子动能越大,蒸发或升华的粒子量也越大。蒸发过程不断消耗电镀材料的内能。为了保持蒸发,电镀材料必须不断地供应热能。显然,在蒸发过程中,涂层材料的蒸发量(表现为涂层材料上方的蒸气压)与涂层材料的加热(温升)密切相关。因此,镀层的生长速度与镀层材料的蒸发速度密切相关。

蒸发的粒子与基板碰撞后,一部分反转,另一部分被吸附。吸附的原子在基板表面扩散,沉积的原子之间发生二维碰撞形成簇,其中一些在表面停留一段时间后蒸发。原子簇与扩散的原子碰撞,或吸附单个原子,或释放单个原子。重复此过程。当原子数超过某个临界点时,就变成稳定的原子核,然后继续吸附其他原子和复合原子逐渐长大,Z后与相邻的稳定原子核融合成为连续的薄膜。

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