磁场对多弧靶电弧燃烧稳定性的影响多弧离子镀设备靶源的真空电弧放电是以场致发射为主， 热电子发射为辅。场致发射所需的强电场是靠靶面前的空间电荷产生的， 这种真空电弧放电具有相当高的离化率， 一般离化率为60%90%，在真空室内特别是靶面附近基本上是完全的等离子体。由于磁场对带电粒子的运动具有很大的影响，从而真空电弧受磁场的控制。

无外加磁场情况下， 阴极弧斑为堆团状，且在靶面上无规则运动，这时电弧燃烧极不稳定， 时常灭弧，靶面刻蚀极为粗糙。

在靶面附近加一非轴对称磁场且磁力线平行于靶面的情况下电弧放电的弧斑形貌，这种情况下弧斑亦为堆团状，其运动是沿一个方向(与磁场方向有关)，Z后停留于靶面外沿一点至到灭弧。

当靶面处加一相对千靶面轴对称的磁场时，堆团状弧斑消失，弧班在靶面上绕靶轴心作旋转运动，形成几条微细的弧环。这种情况下的放电稳定性较好。在阴极靶面上，弧斑位置受磁场控制，靶面处电弧燃烧比较稳定的地方也就是磁场Z强的地方。